主要技術指標
★ 運動擺動：<0.5”
★ 工件臺行程：150×150mm；
★ 重復定位精度:60nm
★ 微動靈敏度:5nm
★ 水平擺動：<0.5"
★ 垂直擺動：<0.5"
★ 垂直跳動：0.4µm
聯(lián)系人:胡主任、唐主任
電話:85101784、85100564
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