
用途:在平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤等刻劃中具有突出的功能與用途。 技術特點: ◆ 采用3500W直流高壓汞燈;◆ 采用蠅眼透鏡實現高均勻照明; ◆ 實現超大面積光刻; ◆采用CCD自動對準,自動化程度高; ◆ 性能可靠、操作方便。 主要技術指標: ★ 曝光面積:430 mm×430 mm; ★ 分辨力:3μm; ★ 對準精度:≤±1μm ; ★ 掩模尺寸:16英寸、17英寸、18英寸、20英寸; ★ 照明均勻性:±10%(430 mm×430 mm范圍); ★ 掩模相對于樣片運動行程:X: ±6mm; Y: ±6mm; θ: ±6度; 聯系人:胡主任、唐主任 電話:85101784、85100564 |
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